通過機械裝置使泵內部的隔膜做往復式運動，從而對固定容積的泵腔內的空氣進行壓縮、拉伸形成真空（負壓），在泵抽氣口處與外界大氣壓產生壓力差，在壓力差的作用下，將氣體壓（吸）入泵腔，再從排氣口排出。正因為抽氣口處或者抽排氣口可以與外界大氣形成壓力差，同時不像大型真空泵需要潤滑油和真空泵油，不會污染工作介質，而且具有體積小巧、噪音低、免維護，可以連續24小時運轉等優點，所以微型真空泵被作為動力裝置，廣泛用于氣體采樣、氣體循環、真空吸附、加速過濾、汽車真空助力等等場合，在醫療、衛生、科研、環保等領域得到了廣泛的應用。