真空泵與氣體采樣泵所選用的零配件有很大差別。微型真空泵對隔膜和電機都有很高的要求。對這兩個主要零件而言，疲勞強度、可靠性、壽命等技術指標都是要求在帶負載的條件達標，而不同于氣體采樣泵只要求在極輕載荷下達標（試驗證明，負載稍大氣體采樣泵便容易損壞）。因此，兩種微型泵的成本差別較大。綜上所述，如果把微型真空泵用于氣體采樣，勢必得到很高的可靠性，但價格偏高；如果把氣體采樣泵用在負載稍大的場合，可靠性、壽命便大打折扣，甚至無法正常工作，雖然它在價格上有優勢。選型時較好向技術部門咨詢清楚，以便兼顧成本和性能。有些氣體采樣泵也能達到較好的真空度和流量指標，但是，達到這個技術指標和能在這個指標下長時間可靠工作是兩回事。比如，某微型泵，能達到30KPa的真空度，那么當泵的抽氣口經常處在這個真空度下時，泵是否能可靠工作？因此，泵能達到的指標和它能可靠工作的指標是不一樣的，請購買時一定向經銷商確認。